螺桿真空泵于半導(dǎo)體設(shè)備意義重大：

若半導(dǎo)體器件不同材料層之間混入氣體分子，會(huì)破壞器件的電學(xué)或光學(xué)性能，而真空系統(tǒng)可對(duì)芯片的性能和良率起決定性作用。

半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用：

晶圓制造過(guò)程中的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測(cè)試等清潔或嚴(yán)苛制程。

Atlas螺桿真空機(jī)擁有VSD和設(shè)定點(diǎn)控制功能，而常規(guī)的真空泵是不具備這樣的功能的，可根據(jù)實(shí)際所需真空水平或速度，提供需求的真空氣量，避免造成浪費(fèi)，Atlas螺桿真空泵是真空領(lǐng)域的節(jié)能減排真空系統(tǒng)，節(jié)能可達(dá)50%，深受用戶(hù)好評(píng)。

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