概述螺桿真空泵設備是一種大批量產品，它是真空工程必不可少的基本組件。近年來，隨著真空技術應用的不斷擴大，各種螺桿真空泵設備的增長也非常迅速。為了滿足真空應用發展的需要，特別是老產品不斷更新，新產品不斷出現，真空設備的開發進入了一個新時代。其特點是：減少泵的振動和噪音，提高長期運行的可靠性，處理大量的可凝性和揮發性氣體，減少能耗和運行成本，消除廢液處理和環境污染;需要耐腐蝕，耐灰塵和清潔，無油的真空環境。
根據上述要求，獲得真空，以使設備制造商不斷改進舊產品的特性。例如，滑閥泵具有抽速大，性能穩定和耐用的特點，但是其運動部件的慣性力和慣性矩引起的振動一直引起人們的關注。
羅茨泵在清潔或腐蝕過程中的應用在半導體，平板顯示器，薄膜太陽能電池和其他工作條件非常惡劣的行業中，大多數設備都使用由羅茨真空泵和干式螺桿真空泵組成的真空裝置。一方面，可以減小干式螺桿真空泵的尺寸，可以提高中真空范圍內裝置的抽速，并且可以將極限真空度提高一個數量級。
根據羅茨泵的泵送機構，原則上應無油，但是羅茨泵的轉子必須由軸承和精密同步齒輪支撐，這需要潤滑系統。當真空系統去除腐蝕性氣體或蒸氣時，潤滑油也可能被腐蝕。
該密封件具有五點機械密封件，也就是說，除了電動真空機輸入處的機械密封件外，其他四個機械密封件也用作泵室和燃油箱之間的密封件。完全機械密封的羅茨真空泵特別適合工藝氣體具有高腐蝕性的應用。為了防止腐蝕，必須對羅茨泵暴露于工藝氣體的表面進行涂層(Ni0.076mm
+ Cr0.005mm)，并且所有密封材料均為全氟橡膠。
此外，真空泵制造商會繼續根據需要開發新產品，而干式螺桿真空泵已成為真空設備行業中最熱門的地方。螺桿真空泵是1990年代出現的理想的干式螺桿真空泵。結構緊湊，抽速高，真空度高，空氣直通，工作部件無摩擦，使用壽命長。由于泵室內沒有油和水，因此沒有油蒸氣排放和廢液處理的問題，因此它是本世紀環境保護的首選。
螺桿真空泵的工作原理是一對同步齒輪帶動一對反向旋轉的螺桿保持一定的間隙，實現非接觸式嚙合。為了減少泄漏，要求螺釘的加工精度較高。該泵可以處理一定量的含有微小顆粒的液體和工藝氣體，非常適合半導體，太陽能膜，化學，制藥和其他應用。