高效抽氣能力：旋片真空泵通過轉子與旋片的協(xié)同運動，周期性改變泵腔容積，實現(xiàn)氣體的快速吸入與壓縮排放。其抽速范圍通常為0.5-150升/秒，單級泵極限壓力可達1帕，雙級泵更可低至6.5×10?²帕，能滿足電子晶圓吸附等工藝對真空度的嚴苛要求。結構緊湊設計：機組小車采用一體化撬裝結構，將泵體、電控系統(tǒng)、過濾器等部件集成于緊湊空間內，占地面積小，便于在實驗室或生產線靈活布局。其輕量化設計（如電機直聯(lián)驅動）進一步減輕了設備重量，提升了便攜性。移動靈活便捷：小車底部配備移動輪，支持快速搬遷與多工位切換，尤其適用于需要頻繁調整設備位置的晶圓加工場景。部分機型還支持手自動模式切換，確保在PLC損壞等緊急情況下仍能維持最低限度運行。運行穩(wěn)定可靠：旋片真空泵通過油膜密封與強制進油潤滑設計，確保運動部件間的完美氣密性與恒定潤滑，同時減少有害空間對極限壓力的影響。其內置的自動防返油雙重保險裝置與金屬絲網粗過濾器，可有效防止油返入被抽系統(tǒng)與固體塵粒吸入泵腔，保障設備長期穩(wěn)定運行。維護簡便經濟：機組小車結構簡單，維護成本低。用戶可通過定期檢查油位、更換真空泵油（首次工作滿150小時后換油，之后每500小時換油）與油過濾器、清潔進氣口濾網等常規(guī)操作，確保設備性能。其低成本、高性能的特點使其成為空間有限或預算敏感場景的理想選擇。安全防護完善：設備配備雙重密閉系統(tǒng)（充氣式電磁閥+機械止回閥）與排氣過渡器，可防止氣體倒流與油霧排放，避免晶圓污染或設備損壞。同時，其內置的吸氣閥可在停泵時自動隔離泵與被抽系統(tǒng)，防止油返入被抽系統(tǒng)，保障操作安全。適應性強：旋片真空泵機組小車可單獨使用，也可與其他高真空泵（如分子泵）組成真空機組，以應對不同工藝對真空度的差異化需求。例如，在晶圓鍵合工藝中，可先通過旋片泵快速抽至低真空，再切換至分子泵實現(xiàn)超高真空環(huán)境，提升工藝效率。經濟性高：機組小車采用無油設計（...
發(fā)布時間：
2025
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07
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