一、超高真空插板閥：

此閥門分為手動、氣動、電動三種驅動，在結構設計上合理，在外形上美觀，并具有動作平穩、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優點，能廣泛應用于超高真空設備中。閥門以手轉動手柄為動力，通過傳動桿推（拉）動連桿機構，帶著驅動體沿軸向運動，驅動體通過擺桿或鋼珠與閥板連接，完成閥板開啟及關閉動作。閥門的介質為空氣及非腐蝕性氣體。

二、超高真空插板閥特點

軸封有波紋管密封和氟橡膠密封兩種可選擇，其它密封件為氟橡膠，無潤滑劑設計；

閥體采用不銹鋼內部焊接，漏率小；

閥體采用加強筋結構，體積小、重量輕，外形美觀；

采用雙導軌軸承滾輪機構，運動平穩；閥板整體式結構，支撐力均勻。

三、超高真空插板閥性能指標

類型： 插（閘）板閥?

驅動方式： 手動、氣動、電動

閥體材料： 不銹鋼?

適用真空： 超高真空?

適用范圍：

1×10-5Pa～1.2×105Pa（全部氟膠圈密封）

1×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）

閥體和閥座漏率：1.3×10-7Pa·L·s-1

首次保養循環次數：100，000次

安裝位置：任意

打開時插板上的壓差：≤3×103Pa任意方向

閥體烘烤溫度：打開時≤200℃；關閉時≤150℃

超高真空插板閥閥門位置指示：

手動驅動：帶有啟閉位置指示（機械式）

氣動驅動：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）

電動驅動：帶有啟閉位置指示開關（微動開關）