一、袖珍型超高真空插板閥
此真空閥門有手動、氣動驅動兩種方式，，在結構設計上合理，在外形上美觀，并具有動作平穩、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優點，能廣泛應用于超高真空設備中。閥門以壓縮空氣推動氣缸為動力，通過傳動桿推（拉）動連桿機構，帶著驅動體沿軸向運動，驅動體通過擺桿與閥板連接，完成閥板開啟及關閉動作。閥門的介質為空氣及非腐蝕性氣體。
二、袖珍型超高真空插板閥特點
軸封為波紋管密封，無潤滑劑設計；
閥體材料為不銹鋼，整體剛性好，體積小，外形美觀；
采用雙導軌軸承滾輪機構，運動平穩；閥板內整體式結構，支撐力均勻。
三、袖珍型超高真空插板閥參數
適用范圍：
1×10-5Pa～1.2×105Pa（全部氟膠圈密封）
1×10-6Pa～1.2×105Pa（波紋管密封）
打開時插板上的壓差：≤3×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率：1.3×10-7Pa·L·s-1
首次保養循環次數：10，000次
閥體烘烤溫度：打開時≤200℃；關閉時≤150℃
安裝位置：任意
電源：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（除了上述規格外，特殊規格可定做）
閥門開啟或關閉時間：≤3s
氣動壓縮空氣：0.4～0.7MPa
閥門位置指示
手動驅動：帶有啟閉位置指示（機械式）
氣動驅動：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）