一、大型超高真空插板閥簡介
此真空閥門為氣動驅動方式，在結構上設計合理，具有動作平穩、沖擊振動小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優點，是大型真空設備自動化首選閥門之一。真空閥門是以壓縮空氣推動氣缸為動力，通過傳動桿推（拉）動連桿機構，帶著驅動體沿軸向運動，驅動體通過擺桿與閥板連接，從而實現閥門開啟及關閉動作。閥門的介質為空氣及非腐蝕性氣體。
二、大型超高真空插板閥特點
采用多擺桿均勻分布支撐結構，閥門開啟沖擊振動小，噪聲低；
四滾輪支撐運動機構，動作平穩，運動噪聲小；
動密封采用波紋管密封，其它密封件為氟橡膠，密封可靠；
閥體采用不銹鋼內部焊接，漏率小。
三、大型超高真空插板閥參數
類型： 插（閘）板閥?
驅動方式： 氣動?
閥體材料： 不銹鋼?
適用真空： 超高真空?
適用范圍：3.5×10-6Pa～1.0×105Pa
打開時插板上的壓差：≤1×103Pa任意方向
閥體和閥座漏率： ≤5.3×10-7Pa·L·s-1
首次保養循環次數：10，000次
閥體烘烤溫度：≤150℃
安裝位置：驅動體水平或垂直氣缸在上（特殊安裝可定做）
電源：交流220V? 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊規格可定做）
壓縮空氣：0.5～0.7MPa
閥門開啟或關閉時間：根據公稱通徑而定
閥門位置指示：帶有啟閉位置指示開關（磁性開關）
閥門重量：以公稱通徑的大小而定